氦質(zhì)譜檢漏儀電磁閥檢漏
上海伯東某客戶是日本半導(dǎo)體設(shè)備廠精密零件供應(yīng)商, 生產(chǎn)的鐳射焊接電磁閥用于半導(dǎo)體設(shè)備上, 由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如矽烷 SiH4, 氨氣 NH3 等等都是有毒或有腐蝕性的氣體, 所以對(duì)所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴(yán)格, 要求電磁閥成品漏率低于 5-10 mbar l / s, 經(jīng)過伯東推薦采用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 完成電磁閥閥芯的泄漏檢測(cè).

電磁閥閥芯需要檢漏
客戶生產(chǎn)的電磁閥閥芯, 經(jīng)過鐳射焊接后, 懷疑焊縫存在微小的泄漏, 單個(gè)閥芯漏率需要低于 5-10 mbar l / s.

電磁閥閥芯檢漏方法
來(lái)料先用放大鏡目視檢測(cè), 閥芯鐳射焊接完成后再目視檢測(cè), 最后用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏, 漏率值以檢漏儀檢測(cè)的數(shù)據(jù)作為標(biāo)準(zhǔn).
一共有5個(gè)型號(hào), 月產(chǎn)量 2000-3000 個(gè).

電磁閥閥芯檢漏操作說(shuō)明
1. 先將閥接入工裝, 形成一個(gè)密閉的腔體. 再將檢漏儀連接到工裝上.
2. 啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀, 真空模式下,設(shè)置漏率值 5-10 mbar l / s, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體, 同時(shí)顯示一個(gè)漏率值.
3. 在電磁閥鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無(wú)變化.
4. 如果漏率值上升, 說(shuō)明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對(duì)象品質(zhì)不合格. 如果漏率值能達(dá)到要求, 該被檢物件合格, 檢漏檢測(cè)完成.


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