HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國 HVA 矩形閥門 88200 系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動技術(shù)的接口閥, 可靠使用壽命超過1百萬次. HVA 矩形門專用于真空相關(guān)系統(tǒng), 起隔絕真空壓力的作用. HVA 矩形閥外形尺寸小, 設(shè)計緊湊, 可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過渡腔室 load-lock chamber 過渡腔室 load-lock chamber 與傳輸系統(tǒng)handling system, 傳輸系統(tǒng) handling system 與工藝腔室 process chamber 等等需要分隔真空壓力的地方.

 

HVA 88200 系列矩形閥產(chǎn)品特點
1. 超百萬次可靠運行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計
3. 閥動作平穩(wěn),振動和沖擊小
4. 標準接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下

HVA 矩形閥 88200 系列技術(shù)參數(shù)

連接形式：	標準或定制法蘭
主體材料：	鋁
公稱通徑：	DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250
漏率:	2x10E-9 AtmCC/Sec
壓力范圍:	1x10E-9 Torr
烘烤溫度:	《150℃
適用介質(zhì)：	水、蒸汽、空氣
密封形式：	軟密封型
驅(qū)動方式：	氣動
使用壽命:	1000000 啟閉次數(shù)

HVA 矩形閥 88200 系列部件圖

上海伯東美國 HVA真空閥門中國總代理!  HVA 是美國最大真空閥門制造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, 美國HVA 提供高質(zhì)量, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產(chǎn)線升級, 還是新設(shè)備制造, HVA 都能提供經(jīng)濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路和各類真空設(shè)備中！與友廠真空閥門對比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護更加方便迅速！

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