氦質(zhì)譜檢漏儀和真空泵組應(yīng)用于超導(dǎo)量子芯片裝置中
前段時(shí)間, 浙江大學(xué), 中科院物理所, 中科院自動(dòng)化所, 北京計(jì)算科學(xué)研究中心等國(guó)內(nèi)單位組成的團(tuán)隊(duì)通力合作, 開(kāi)發(fā)出具有 20個(gè)超導(dǎo)量子比特的量子芯片, 并成功操控其實(shí)現(xiàn)全局糾纏, 刷新了固態(tài)量子器件中生成糾纏態(tài)的量子比特?cái)?shù)目的世界記錄.

量子加速性在計(jì)算中的實(shí)現(xiàn)主要基于量子特性如疊加性和糾纏性, 而構(gòu)建量子計(jì)算機(jī)的備選系統(tǒng)包括光子, 離子阱, 量子點(diǎn)和超導(dǎo)約瑟夫森結(jié)等. 相比于其他量子系統(tǒng), 超導(dǎo)系統(tǒng)與環(huán)境的耦合較強(qiáng), 擁有其他系統(tǒng)無(wú)法比擬的可控制性和可擴(kuò)展能力, 更有希望實(shí)現(xiàn)能大規(guī)模集成的量子計(jì)算芯片.

基于超導(dǎo)約瑟夫森結(jié)的量子芯片作為實(shí)現(xiàn)量子加速能力的物理載體, 對(duì)實(shí)現(xiàn)超導(dǎo)量子比特的多體糾纏尤其重要.

作為專業(yè)人都知道, 相比于其他量子系統(tǒng), 超導(dǎo)量子芯片系統(tǒng)與環(huán)境的耦合較強(qiáng), 量子芯片超導(dǎo)系統(tǒng)運(yùn)行需要高真空環(huán)境. 在搭建超導(dǎo)量子芯片系統(tǒng)的環(huán)境時(shí), 保證快速抽取真空, 實(shí)現(xiàn)高, 超高真空環(huán)境和運(yùn)行環(huán)境的腔體無(wú)泄漏是非常關(guān)鍵的. 超導(dǎo)系統(tǒng)需要高真空環(huán)境, 腔室是否有泄露, 是否有內(nèi)部材料的放氣對(duì)實(shí)現(xiàn)高真空及超高真空很關(guān)鍵, 在超導(dǎo)裝置中快速抽真空和高精度檢漏不可缺少. 上海伯東提供德國(guó) Pfeiffer HiCube 700 Pro 高性能分子泵組和移動(dòng)式半導(dǎo)體級(jí)別的 ASM 390 氦質(zhì)譜檢漏儀, 一方面對(duì)超導(dǎo)系統(tǒng)提供高效穩(wěn)定的高真空環(huán)境, 另一方面輔助檢漏儀將系統(tǒng)真空抽到檢漏壓力, 便于檢漏儀的快速檢測(cè).

檢漏儀的吸槍模式 ( 正壓檢漏 ) 和真空模式 ( 負(fù)壓檢漏 ) 兩種檢漏模式也為客戶實(shí)際檢漏提供可選方案, 對(duì)于大腔室的泄露檢測(cè), 通過(guò)泵抽達(dá)到檢測(cè)真空需要更久時(shí)間, 用正壓檢漏 ( 吸槍模式) 可以對(duì)腔室內(nèi)部充入示蹤氦氣, 外部用吸槍檢漏會(huì)更快捷.

上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
ASM 390 是針對(duì)大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, 高達(dá) 35m3/h 的大抽速干泵, 可以加速泄漏檢測(cè)流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間 ASM 390, ASM 392 對(duì)氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時(shí)間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者

最小檢測(cè)漏率 ( 真空模式 ) : 1*10-12 mbar.l/s 最小檢測(cè)漏率 ( 吸槍模式 ) : 1*10-8 mbar.l/s 對(duì)氦氣的抽速: 10 L/S 前級(jí)泵抽速: 35m3/h 最大入口測(cè)試壓力: 20mbar 入口法蘭: DN40 ISO-KF

真空泵組 HiCube 700 Pro
伯東普發(fā) Pfeiffer 真空泵 HiCube 700 Pro 泵組設(shè)備適用于所有高真空應(yīng)用, 與具有最高 685 l/s 泵組抽空能力和干式前級(jí)泵一起使用. 伯東普發(fā) Pfeiffer真空泵 HiCube Pro 的特點(diǎn)是極快抽氣時(shí)間, 方便移動(dòng). 可選前級(jí)泵包括我們伯東普發(fā) Pfeiffer 真空泵 DuoLine, Pascal 系列旋片式真空泵和多級(jí)羅茨泵 ACP 系列.

進(jìn)氣法蘭: DN 160 ISO-K / DN 160 CF-F 氮?dú)獬樗?N2 : 685 l/s 極限真空: < 1X 10-10 hpa

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