上海 磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M閱讀數(shù): 22879
Pfeiffer 普發(fā)磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)子位移自動(dòng)修正功能確保長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時(shí)運(yùn)行時(shí)也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè). 對(duì)標(biāo) Edwards STP 磁懸浮分子泵.
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優(yōu)點(diǎn)
1. 清潔無(wú)油, 大抽速
2. 免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)
3. 更低的振動(dòng)和噪音
4. 不受限的任意方向安裝
5. 無(wú)工藝污染
P
feiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)
|
分子泵型號(hào) |
分子泵連接尺寸 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啟動(dòng)壓強(qiáng)hPa |
極限壓力 |
全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s |
啟動(dòng)時(shí)間 |
重量 |
|||
|
進(jìn)氣口 |
排氣口 |
氮?dú)?br /> N2 |
氦氣He |
氫氣 H2 |
氮?dú)?br /> N2 |
氮?dú)釴2 |
hPa |
氮?dú)釴2 |
min |
kg |
|
|
ATH 1600 MT |
250 |
40 |
1,400 |
970 |
540 |
> 1X108 |
1.7 |
< 6X10–9 |
67 |
6 |
42 |
|
ATH 2300 MT |
250 |
40 |
2,150 |
1,800 |
1,100 |
> 1X108 |
2.9 |
< 6X10–9 |
67 |
8 |
68 |
|
ATH 2800 MT |
250 |
40 |
2,200 |
2,400 |
1,550 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
ATH 3200 MT |
320 |
40 |
2,800 |
2,500 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
320 |
40 |
1,950 |
2,050 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
37 |
8 |
60 |
|
MT 型號(hào)的分子泵配有集成加熱帶可以進(jìn)行溫度控制. 其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時(shí)作用, 可以確保泵的工作溫度相對(duì)恒定 (最高工作溫度75°C), 同時(shí)盡可能減少化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積.
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>
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